(1. 河北工业大学 电子信息工程学院, 天津 300130;2. 河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心, 天津 300130;3. 河北省微电子专用材料与器件工程研究中心, 天津 300130;4. 河北工业大学 材料与工程学院, 天津 300130)
罗博文(2002—),男(满族),河北秦皇岛人,硕士研究生,研究方向为微电子CMP技术与材料。 高宝红(1982—),女(汉族),山东惠民人,博士,副研究员,从事微电子CMP技术及CMP后清洗工艺及理论研究。通信作者。
TN305.2
国家自然科学基金资助项目(61704046);河北省自然科学基金资助项目(F2022202072)
(1. School of Electronic Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin 300130, P. R. China;2. Collaborative Innovation Center for Microelectronics Ultra-precision Processing Materials and Technology, Hebei Province, Tianjin 300130, P. R. China;3. Engineering Research Center for Microelectronics Specialized Materials and Devices, Hebei Province, Tianjin 300130, P. R. China;4. School of Materials and Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin 300130, P. R. China)