(南京邮电大学 电子与光学工程学院、微电子学院, 南京 210023)
于文婷(1996—),女(汉族),安徽宿州人,硕士研究生,研究方向为MEMS微波功率传感器技术。 王德波(1983—),男(汉族),山东新泰人,副教授,研究方向为MEMS微波功率传感器技术。通信作者。
TN62;TP212
国家自然科学青年基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039)
(College of Electronic and Optical Engineering & College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, P. R. China)