(模拟集成电路重点实验室, 重庆 400060 )
陈光炳(1966-),男(汉族),四川乐至人,高级工程师,从事微电子可靠性与抗辐射加固技术的研究工作。 ·电路与系统设计·多晶硅发射极NPN管的辐射效应研究 陈光炳, 张培健, 谭开洲 (模拟集成电路重点实验室, 重庆 400060 )摘 要: 为了研究多晶硅发射极双极晶体管的辐射可靠性,对多晶硅发射极NPN管进行了不同偏置条件下60Co γ射线的高剂量率辐照试验和室温退火试验。试验结果表明,辐射后,基极电流IB显著增大,而集电极电流IC变化不大;反偏偏置条件下,IB的辐射损伤效应在辐射后更严重;室温退火后,IB有一定程度的持续损伤。多晶硅发射极NPN管与单晶硅发射极NPN管的辐射对比试验结果表明,多晶硅发射极NPN管的抗辐射性能较好。从器件结构和工艺条件方面,分析了多晶硅发射极NPN管的辐射损伤机理。分析了多晶硅发射极NPN管与单晶硅发射极NPN管的辐射损伤区别。 关键词: 多晶硅发射极;NPN管;辐照偏置;60Co γ射线;辐射损伤 中图分类号:TN322+.8 文献标识码:A
TN322+.8
模拟集成电路重点实验室基金资助项目(0C09YJTJ1503)
(Science and Technology on Analog Integrated Circuit Laboratory, Chongqing 400060, P. R. China)