(重庆中科渝芯电子有限公司, 重庆 401332 )
马 羽(1972-),内蒙古临河人,硕士,主要从事电子元器件前沿技术研究、研发生产与供应管理等工作。 ·电路与系统设计·SiGe集成电路工艺技术现状及发展趋势 马 羽, 王志宽, 崔 伟 (重庆中科渝芯电子有限公司, 重庆 401332 )摘 要: 介绍了基于SiGe材料的集成电路工艺技术概况,包括SiGe HBT器件结构、SiGe HBT特色双极工艺、SiGe BiCMOS工艺等。概述了SiGe工艺技术的应用情况以及国内外发展现状,并结合应用需求,提出了国内模拟集成电路制造用SiGe工艺技术的发展趋势。 关键词: 异质结;SiGe HBT;SiGe双极工艺;SiGe BiCMOS工艺 中图分类号:TN304.2+4 文献标识码:A
TN304.2+4
(Analog Foundries Co., Ltd., Chongqing 401332, P. R. China)